捲出捲取機構:

• - 雙軸放捲機構(提高換卷效率)
• - 緩衝設計(可不停線生產製造)
• - 裁切平台設計(縮短接膜時間)
• - 上下保護膜撕膜機構設計
• - 上方HEPA高效過濾器(達成環境潔淨度要求)
• - 除靜電裝置

塗佈烘烤設計

• - 精密Slot die兩片式組合刀頭
• - 精密控制供藥
• - 脫泡設計確保塗佈光阻液之品質
• - 張力控制器
• - 輸送段-曲線設計-可有效抑制垂流問題。
• - 設計IR及熱板進行烘烤
• - 均溫控制設計: SRR控制器-在線檢知確保溫度均勻性