SALUT (Web R2R CBD System)
Wet Reactive (Chemical Bath Deposition) Coating System
CIGS Solar Cell Equipment Overview
CIGS薄膜太陽能電池是目前薄膜電池中製作成本較低、轉換效率最高者。Dalux自2004年起投入CdS沉積製程設備之研發，提供CIGS薄膜太陽能電池整廠設備，並能夠規劃每年30MW的太陽能電池產出。
DALUX Perfornmence
．2005 DALUX已有數十組 R2R-CdS 塗佈系統出貨至世界各地，客戶以美國區域為主
．2006 3條CIGS on Glass 產線(CBD & KCN)於客戶廠房安裝完成
．2009 DALUX廢水處理系統於CIGS廠房全線運作
．2010 全球約有200MW/a的CIGS-PV產能為DALUX系統所生產 Typical CIGS Structure
Typical CIGS Structure
．在濺鍍背電極層(Mo)前，基板經由清洗後，可大幅降低表面接觸角，以確保後段濺鍍的品質。
．在沉積CdS薄膜前，可經由KCN在CIGS表面上微蝕刻，來降低CIGS表面的粗糙度，即可減少後續CBD製程中，所產生的孔洞(pin hole)。
．設備是利用化學浴沉積(CBD)技術於CIGS/Glass 和 CIGS/Foil上製備CdS奈米級薄膜。
．在鍍膜過程中，設備可藉由調整流速、濃度與溫度分布來控制CdS薄膜厚度與均勻性。
