- 蝕刻藥液段噴管：擺動設計，藥液反應平均接液 - 藥液噴管：可獨立調整壓力 - Isolation設計:電器用隔離與正壓，阻隔酸氣 - 藥液槽A B Tank系統: 使用藥液槽切換設計 - 自動洗槽設計：確保Maintain時人員操作安全 - Tank間接加熱設計: 控制藥液溫度精準度 - 藥液段自動添加設計: 達成計時計片添加需求 - 補單酸設計:Option使用控酸系統 - Cone Type 噴嘴設計: 強調蝕刻均勻性 - 傳動設計:可調整傳送加減速，或調整全線傾斜傳動機構
